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STZ400H高精度四探针电阻率测试仪

发布时间:2018-11-02 02:50


          

    STZ400H型四探针测试仪是根据四探针测试原理研究成功的多用途的综合测量装置,它可以测量片状、棒状、块状半导体材料的电阻率和半导体扩散层的薄层方阻,可以从10-4--106Ω全量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电阻,是硅材料质量监测的必需仪器。测试仪本身已经内置相应的修正系数,比如厚度修正系数,直径修正系数等,所以测试仪直接显示用户需要的电阻率和方阻值,不需要用户自己去查表计算。

   仪器为台式结构,配套测试架,用户可以根据测试需要安放在一般工作台或者专用工作台上,测试架由探头及压力传动机构、样品架组成,耐磨和使用寿命长的特点。探头内设有弹簧压力装置,压力连续可调。
    仪器主要由高灵敏的直流数字电压表和高稳定的恒流源组成,测量结果由数字直接显示,仪器有自校量程,可以方便地对仪器的电气性能进行校验。
    仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点,仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科学研究部门、高等院校,对半导体材料的电阻性能测试及工艺检测。

主要技术指标:

1测量范围:10-4---106Ω  分辨率 10-6

2数字电压表量程和电流输出档位:

a电压表量程2 mV、20 mV、200 mV、2V

b电流输出档位: 1uA,10uA,100uA,1mA,10mA,100mA,

3测试(显示电压)精度及稳定度:

a使用电压量程20mV—2V及使用10uA—100mA电流输出档时 :

±(0.1%读数+6字)  

b使用电压量程2mV档及使用1uA电流输出档时:

±(0.25%读数+8字)

c显示:4½位数字显示0—19999及相应单位显示,测试电压的分辨力为

   0.1uV。

4  电源:220±10%   50HZ或60HZ 功率消耗<50W

5外形尺寸:365mm*345mm*110mm

 

 

 

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